液壓伺服系統(tǒng)在制作的過(guò)程中主要是由反饋機(jī)構(gòu)和液壓動(dòng)力機(jī)構(gòu)組成的閉環(huán)控制系統(tǒng)，液壓伺服系統(tǒng)可以分為其電氣液壓伺服系統(tǒng)及機(jī)械液壓伺服系統(tǒng)兩類，后者的系統(tǒng)應(yīng)用的比較早。
 
液壓伺服系統(tǒng)的液壓執(zhí)行機(jī)構(gòu)的動(dòng)作比較快且換向迅速，在使用的過(guò)程中基本上是一個(gè)固有的頻率很大的振蕩環(huán)節(jié)，會(huì)隨著其流量的加大和參數(shù)的匹配可以使固有頻率增大到和電液伺服閥的固有頻率相比。。
 
電液壓伺服系統(tǒng)的固有頻率一般情況下會(huì)在100HZ以上，設(shè)備中液壓執(zhí)行機(jī)構(gòu)的頻率響應(yīng)是很快的，在使用時(shí)易于高速啟動(dòng)、制動(dòng)以及換向，與機(jī)電系統(tǒng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)相比，固有頻率通常較高。
 
液壓伺服系統(tǒng)的液壓執(zhí)行機(jī)構(gòu)的體積和重量會(huì)遠(yuǎn)遠(yuǎn)的小于相同功率的機(jī)電執(zhí)行機(jī)構(gòu)的體積和重量，因?yàn)殡S著功率的增加液壓執(zhí)行機(jī)構(gòu)的體積和重量的增加遠(yuǎn)比機(jī)電執(zhí)行機(jī)構(gòu)增加的慢，這是因?yàn)榍罢咧饕吭龃笠后w流量和壓力來(lái)增加功率。
 
液壓伺服系統(tǒng)的液壓執(zhí)行機(jī)構(gòu)傳動(dòng)比較平穩(wěn)且抗干擾的能力強(qiáng)，特別是低速性能好，而機(jī)電系統(tǒng)的傳遞平穩(wěn)性較差，而且易受到電磁波等各種外干擾的影響。